離軸物方視場(chǎng)的子午面和弧矢面

軸外物點(diǎn)的主光線與光學(xué)系統(tǒng)主軸(Z軸)所構(gòu)成的平面為子午面，過軸外物點(diǎn)的主光線并與子午面垂直的平面為弧矢面。對(duì)于一個(gè)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱系統(tǒng)，物點(diǎn)沿Y軸分布，不同的物點(diǎn)代表了不同的視場(chǎng)，因此可以用來評(píng)價(jià)系統(tǒng)的成像特性。在本例中：子午面是YZ平面，弧矢面就是包含主光線和光瞳面(Pupil)X軸的平面

這就體現(xiàn)出正確設(shè)置系統(tǒng)參數(shù)的重要性了。5 mm 1/e2直徑的激光照射的系統(tǒng)的結(jié)果（RMS OPD：~2.10-3）與均勻光照射的結(jié)果（RMS OPD ：3.10-3）肯定是不同的。因?yàn)楫?dāng)光源為高斯光時(shí)，球差在光瞳邊緣的效應(yīng)相比于均勻光入射小很多。

接下來，我們來考慮制造誤差對(duì)系統(tǒng)的影響。

制造公差

公差分析目的是考慮制造誤差對(duì)系統(tǒng)的影響，因此設(shè)計(jì)時(shí)必須考慮實(shí)際的制造情況。為了能夠更好地分析公差，模擬出符合實(shí)際的情況，首先我們應(yīng)該了解系統(tǒng)所用鏡片在批量生產(chǎn)時(shí)的制造流程和測(cè)試方法。

ZEMAX?光柵插件模塊介紹ZEMAX里邊所有的光柵模型均為理想的光柵模型，不考慮光柵的衍射效率隨光波長(zhǎng)、入射角、衍射級(jí)次的變化，所有波長(zhǎng)、入射角、衍射級(jí)次都假定衍射效率100%，嚴(yán)重不符合物理實(shí)際，也無法進(jìn)行公差分析。

我們自定義的光柵模塊Grtaing_XE.dll可以對(duì)上述模型進(jìn)行修正，得到比較真實(shí)的衍射效率曲線。該光柵插件模塊基于標(biāo)量衍射理論，支持正弦光柵、矩形（方波）光柵、基諾（kinorform）型光柵、二元光柵（Binary）等位相光柵，支持衍射效率計(jì)算，而且可以對(duì)光柵的刻線密度及光柵的形貌（槽深度）進(jìn)行公差分析，便于像質(zhì)分析。