供應AerotechABL系列氣浮平臺
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供應AerotechABL系列氣浮平臺

價格

訂貨量(臺)

¥99.00

≥90

聯(lián)系人 于洪超

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發(fā)貨地 北京市
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商品參數(shù)
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商品介紹
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聯(lián)系方式
產(chǎn)品特性 氣浮平臺
是否進口 Array
產(chǎn)地 美國
加工定制 Array
品牌 Aerotech
型號 ABL1500
訂貨號 ABL
貨號 ABL1500
產(chǎn)品認證 CE
速度響應頻率 200KHz
適用電機 Aerotech直線電機
商品介紹

    Aerotech ABL系列氣浮軸承直驅(qū)直線運動平臺,擁有超高精度的定位功能,精度在0.2~0.5um之間。

設(shè)計特點

  • 專為高性能掃描和檢查而設(shè)計

  • 所有空氣軸承表面上的有效空氣預載

  • 線性編碼器反饋提供亞納米分辨率

  • 高剛性,可承受重載,并具有出色的幾何性能

  • 行程達500毫米

前沿制造業(yè),特別是在半導體和數(shù)據(jù)存儲行業(yè)中,要求的定位公差超出了傳統(tǒng)滾珠絲杠和機械軸承定位系統(tǒng)的能力。ABL1500空氣軸承臺具有完全主動的預緊力,極高的剛度和出色的幾何特性,專門為滿足這些需求而設(shè)計。

空氣軸承設(shè)計,實現(xiàn)高動態(tài)性能

ABL1500在垂直和水平表面上均帶有空氣預載功能。相對的薄膜壓力可保持軸承的名義間隙公差。除了大的空氣軸承表面可以將負載分配到較大的表面積上之外,這種設(shè)計還可以使平臺具有出色的剛度,非常適合重載或偏載。

專有的制造技術(shù)導致了具有無法超越的幾何特征的階段??諝廨S承具有固有的平均效應,可限度地提高性能。薄膜將填充小的表面空隙并允許其他不規(guī)則性。此特性可產(chǎn)生出色的螺距,滾動,偏航,直線度和平坦度規(guī)格。

直線電機驅(qū)動

此階段的驅(qū)動力是AerotechBLMC系列無刷線性伺服電機。該設(shè)計體現(xiàn)了Aerotech作為電機制造商的悠久歷史和經(jīng)驗。BLMC使用無鐵力,這意味著零齒槽效應和無吸引力,從而實現(xiàn)了無與倫比的運動平穩(wěn)性。BLMC能夠產(chǎn)生高的力和速度,代表了功率和性能的結(jié)合。

零維護

我們的完全非接觸式空氣軸承,非接觸式線性電動機驅(qū)動器和非接觸式反饋設(shè)備確保了Aerotech設(shè)備所期望的高性能水平下的多年免維護運行。由于運動元件之間沒有機械接觸,所以隨著時間的流逝,ABL1500不會遭受磨損或性能下降。使用壽命幾乎是無限的,并且由于沒有潤滑-只有清潔,干燥的氣體-空氣軸承是潔凈室和醫(yī)療應用的理想選擇。

電纜管理

我們精心優(yōu)化電纜彎曲半徑,以確保多年無故障運行。萬一發(fā)生故障,Aerotech的模塊化設(shè)計使電纜更換變得快速簡便,停機時間最少。我們將所有客戶要求的電纜,空氣軟管等都包含在CMS捆綁包中,以便于集成到最終系統(tǒng)中。兩端完全連接,可輕松集成到客戶的機器中。

技術(shù)指標

機械規(guī)格

模型

ABL1500-050

ABL1500-100

ABL1500-200

旅行

50毫米

100毫米

200毫米

準確性1

E1

已校準

±0.3微米

±0.3微米

±0.5微米

標準

±2.0微米

±4.0微米

±8.0微米

E3

已校準

±0.2微米

±0.2微米

±0.4微米

標準

±1.0微米

±2.0微米

±5.0微米

重復性

(雙向)1

E1

±0.1微米

±0.2微米

E3

±0.05微米

±0.05微米

±0.1微米

直線度1

±0.25微米

±0.4微米

±0.5微米

平面度1

±0.25微米

±0.4微米

±0.5微米

瀝青

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

偏航

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

速度

2 m /

加速度

2克(空載)

力(連續(xù))

93.6 N

載重量2

臥式

35公斤

側(cè)

25公斤

運營壓力

80 psi±5 psig

耗氣量

24-30 SLPM @ 551 kPa0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴)

移動質(zhì)量(空載)

5.1公斤

舞臺質(zhì)量

14.7公斤

16.0公斤

18.6公斤

材料

MTBF(平均無故障時間)

30,000小時

  • 通過每個階段的認證。

  • 列出了軸上加載的軸方向。

  • 規(guī)格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統(tǒng)。多軸系統(tǒng)的性能取決于有效載荷和工作點。有關(guān)多軸或非標準應用,請咨詢工廠。

  • 為了防止空氣軸承承受負壓,建議在運動控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個在線壓力開關(guān)。

  • 供氣必須清潔,干燥至0°F露點并過濾至0.25 μm或更高;建議使用純度為99.9%的氮氣。

  • 對于XY配置,上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm,則需要ABL1500WB作為下軸。

模型

ABL1500-300

ABL1500-400

ABL1500-500

旅行

300毫米

400毫米

500毫米

準確性1

E1

已校準

±0.5微米

±0.6微米

±0.6微米

標準

±12.0微米

±16.0微米

±20.0微米

E3

已校準

±0.4微米

±0.5微米

±0.5微米

標準

±5.0微米

±5.0微米

±5.0微米

重復性

(雙向)1

E1

±0.2微米

±0.3微米

E3

±0.15微米

±0.2微米

直線度1

±0.75微米

±1.5微米

±2.0微米

平面度1

±0.75微米

±1.5微米

±2.0微米

瀝青

±3弧秒

±4弧秒

±5弧秒

±3弧秒

±4弧秒

±5弧秒

偏航

±3弧秒

±4弧秒

±5弧秒

速度

2 m /

加速度

2克(空載)

力(連續(xù))

93.6 N

載重量2

臥式

35公斤

側(cè)

25公斤

運營壓力

80 psi±5 psig

耗氣量

24-30 SLPM @ 551 kPa0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴)

移動質(zhì)量(空載)

5.1公斤

舞臺質(zhì)量

21.3公斤

23.9公斤

26.5公斤

材料

MTBF(平均無故障時間)

30,000小時

  • 通過每個階段的認證。

  • 列出了軸上加載的軸方向。

  • 規(guī)格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統(tǒng)。多軸系統(tǒng)的性能取決于有效載荷和工作點。有關(guān)多軸或非標準應用,請咨詢工廠。

  • 為了防止空氣軸承承受負壓,建議在運動控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個在線壓力開關(guān)。

  • 供氣必須清潔,干燥至0°F露點并過濾至0.25 μm或更高;建議使用純度為99.9%的氮氣。

  • 對于XY配置,上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm,則需要ABL1500WB作為下軸。

ABL系列定位平臺優(yōu)點:

?幾何性能卓越的氣浮導軌

?1.2 m x 1.2 m 的行程

?光柵尺或激光回饋干涉儀

?亞微米定位精度

?XY 和 XYZ 集成系統(tǒng)

?無槽直接驅(qū)動電動機

同時我們還提供其他型號的納米級直線、旋轉(zhuǎn)高精密運動平臺,比如 pro系列,ANT95系列等等。

更多產(chǎn)品信息請聯(lián)系銷售工程師:于工 18510085666

QQ:2799935409




聯(lián)系方式
公司名稱 北京高控科技有限公司
聯(lián)系賣家 于洪超 (QQ:2799935409)
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地址 北京市