北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司主營(yíng)：氦檢漏設(shè)備,氦質(zhì)譜檢漏儀,LNG抽真空設(shè)備

氦質(zhì)譜檢漏原理

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測(cè)儀器，用于檢漏的一種檢測(cè)技術(shù)，它的檢漏靈敏度可達(dá)10-14～10-15Pa?m3/s，可以準(zhǔn)確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學(xué)控制元件三大部分組成。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機(jī)械泵之間，利用分子泵對(duì)不同氣體具有不同壓縮比的特點(diǎn)，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入磁場(chǎng)，在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn),由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學(xué)特性，偏轉(zhuǎn)半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時(shí)間到達(dá)收集板的氦離子對(duì)應(yīng)于一個(gè)電流信號(hào)，這個(gè)電流信號(hào)正比于進(jìn)入到達(dá)收集板氦離子的數(shù)量，電流信號(hào)經(jīng)過放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點(diǎn)的漏率，通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因?yàn)楹饩哂幸韵聝?yōu)良特性：

①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環(huán)境中的含量超過標(biāo)準(zhǔn)，可以比較容易地探測(cè)到極微量的氦氣；

②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔、易于檢測(cè)也易于清除；

③氦離子荷質(zhì)比小，易于進(jìn)行質(zhì)譜分析；

④氦氣是惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)腐蝕和損傷任何設(shè)備；

⑤氦氣無毒，不凝結(jié)，極難容于水。

今天科創(chuàng)真空小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏的工作原理，希望對(duì)您有所幫助！

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)

以下是科創(chuàng)真空為您一起分享的內(nèi)容，銳誠(chéng)真空公司專業(yè)生產(chǎn)銷售氦檢漏設(shè)備，歡迎新老客戶蒞臨。

機(jī)械系統(tǒng)主要由以下四個(gè)單元構(gòu)成：真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。

1.1真空箱單元

真空箱單元由真空箱、真空泵組、真空測(cè)量裝置、真空閥、執(zhí)行裝置及不銹鋼管道等組成。

真空箱：采用不銹鋼材質(zhì)制造，其內(nèi)表面在加工后經(jīng)拋光和清洗處理，保證了良好的本底和ji少的藏氣，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦氣回收單元

充氦氣回收部分主要包括儲(chǔ)氣(高壓)罐、回收(低壓)罐、壓縮機(jī)、真空泵、電磁閥、真空閥、壓力傳感器、真空計(jì)和管道等組成。能在設(shè)定的時(shí)間內(nèi)對(duì)工件進(jìn)行抽空、充氦氣和氦氣回收等處理。

1.3 檢漏單元

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)機(jī)械系統(tǒng)部分的氦檢漏單元，氦質(zhì)譜檢漏儀采用進(jìn)口產(chǎn)品，自動(dòng)校準(zhǔn)漏孔。技術(shù)成熟，性能穩(wěn)定，安裝維護(hù)方便，使其和真空箱連接更加協(xié)調(diào)緊密。

用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量(在空氣中約含5.2ppm)， 在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔。赡承┰蛞鸨镜椎牟▌?dòng)，亦即本底噪聲也

就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量小(相對(duì)分子質(zhì)量為4)，易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同-漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。