日立 全自動型原子力顯微鏡 AFM5500M 維翰光電科技
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日立-全自動型原子力顯微鏡-AFM5500M-維翰光電科技

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上海維翰光電科技有限公司

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品牌 日立
產(chǎn)品 全自動型原子力顯微鏡 AFM5500M
系列 AFM5500M
掃描范圍 200 μm x 200 μm x 15 μm
RMS噪音水平* 0.04 nm 以下（高分辨率模式）
XY直角度 ±0.5°
BOW* 2 nm/50 μm 以下
檢測方式 激光檢測（低干涉光學(xué)系統(tǒng)）
防音罩 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 約 237 kg
大小?重量 400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、約 90 kg
商品介紹
產(chǎn)品說明： AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高，配備4英寸自動馬達(dá)臺的全自動型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換，激光對中，測試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動操作平臺。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測量精度大幅提高。并且，通過SEM-AFM共享zuobiao樣品臺可輕松實現(xiàn)同一視野的相互觀察?分析。 1. 自動化功能 · 高度集成自動化功能追求效率檢測 · 降低檢
 
AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高，配備4英寸自動馬達(dá)臺的全自動型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換，激光對中，測試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動操作平臺。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測量精度大幅提高。并且，通過SEM-AFM共享zuobiao樣品臺可輕松實現(xiàn)同一視野的相互觀察?分析。
1. 自動化功能
· 高度集成自動化功能追求效率檢測
· 降低檢測中的人為操作誤差
2. 可靠性
排除機(jī)械原因造成的誤差
· 大范圍水平掃描
采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對掃描器圓弧運(yùn)動所產(chǎn)生的曲面，通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是，用軟件校正方式不能quan消c掃描器圓弧運(yùn)動的影響，圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。
AFM5500M搭載了新研發(fā)的水平掃描器，可實現(xiàn)不受圓弧運(yùn)動影響的準(zhǔn)確測試。
高精角度測量
· 普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時候，會發(fā)生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。
· AFM5500M中搭載的掃描器，在豎直方向上不會發(fā)生彎曲（crosstalk） ，可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
* 使用AFM5100N（開環(huán)控制）時
3. 融合性
親密融合其他檢測分析方式
通過SEM－AFM的共享zuobiao樣品臺，可實現(xiàn)在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌，結(jié)構(gòu)，成分，物理特性等。
SEM-AFM在同一視野觀察實例（樣品：石墨烯/SiO2）
上圖是AFM5500M拍攝的形狀像（AFM像）和電位像（KFM像）分別和SEM圖像疊加的應(yīng)用數(shù)據(jù)。
通過分析AFM圖像可以判斷，SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。
石墨烯層數(shù)不同導(dǎo)致表面電位（功函數(shù)）的反差。
SEM圖像對比度不同，可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。
今后計劃與其他顯微鏡以及分析儀器的聯(lián)用。
技術(shù)參數(shù)
馬達(dá)臺自動精密馬達(dá)臺
*大觀察范圍：100 mm （4英寸）
馬達(dá)臺移動范圍：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
*小步距：XY 2 μm、Z 0.04  μm
*大樣品尺寸直徑：100 mm（4英寸）、厚度：20 mm
樣品重量：2 kg
掃描范圍200 μm x 200 μm x 15 μm （XY：閉環(huán)控制 / Z：感應(yīng)器監(jiān)控）
RMS噪音水平*0.04 nm 以下（高分辨率模式）
復(fù)位精度*XY: ≤15 nm(3σ、計量10  μm的標(biāo)準(zhǔn)間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計量100 nm 的標(biāo)準(zhǔn)深度)
XY直角度±0.5°
BOW*2 nm/50 μm 以下
檢測方式激光檢測（低干涉光學(xué)系統(tǒng)）
光學(xué)顯微鏡放大倍率：x1 ～ x7
視野范圍：910 μm x 650 μm ～ 130 μm x 90 μm
顯示倍率：x465 ～ x3,255（27英寸顯示器）
減震臺臺式主動減震臺 500 mm（W） x 600 mm （D） x 84 mm （H）、約28 kg
防音罩750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 約 237 kg
大小?重量400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、約 90 kg

* 參數(shù)與設(shè)備配置及放置環(huán)境相關(guān)。
AFM5500M zhuan用原子力顯微鏡工作站
OSWindows7
RealTune?II自動調(diào)節(jié)懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號反饋
操作畫面操作導(dǎo)航功能、多窗口顯示功能（測試/分析）、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測量履歷顯示功能、數(shù)據(jù)批處理分析功能、探針評估功能
X, Y, Z掃描驅(qū)動電壓0～150 V
時時測試（像素點）4畫面（*大2,048 x 2,048）
2畫面（*大4,096 x 4,096）
長方形掃描2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
分析軟件3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
自動控制功能自動更換懸臂、自動激光對中
大小?重量340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、約 34 kg
電源AC100 ～ 240 V ±10% 交流
測試模式標(biāo)配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 選配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM
選配項：SEM-AFM聯(lián)用系統(tǒng)
可適用的日立SEM型號SU8240、SU8230（H36 mm型）、SU8220（H29 mm型）
樣品臺大小41 mm（W） x 28 mm（D） x  16 mm （H）
*大樣品尺寸Φ20 mm x 7 mm
對中精度±10 μm （AFM對中精度）

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公司名稱 上海維翰光電科技有限公司
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地址 上海市松江區(qū)