技術(shù)參數(shù)

測(cè)量行程：300mm×200mm (X×Y)

工件限高：200mm (Z)

玻璃臺(tái)尺寸：340 mm×240 mm

示值系統(tǒng)：采用怡信Easson 0.01um光柵尺

分辨率：0.01μm

示值精度：E≤（2.0 L/200）um (L單位:mm)（量標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)ISO1036-1）

載物臺(tái)尺寸：460 mm×360 mm

控制系統(tǒng)：網(wǎng)絡(luò)接口主板及以及驅(qū)動(dòng)做了全方面升級(jí)，Z軸帶剎車(chē)系統(tǒng)，機(jī)器的平穩(wěn)，定位更準(zhǔn)

傳動(dòng)方式：絲桿采用臺(tái)灣研磨級(jí)絲桿，速度快運(yùn)作平穩(wěn)，線軌為怡信Easson精密線軌。

操作方式：搖控手柄、鼠標(biāo)拖運(yùn)、程序檢測(cè)

影像系統(tǒng)：130萬(wàn)工業(yè)級(jí)數(shù)字高清網(wǎng)絡(luò)相機(jī)

物鏡：精密多段定倍PMS/普密斯鏡頭。

光學(xué)放大倍率：0.7×-4.5×。

照明系統(tǒng)：軟件內(nèi)控，采用40路大光源照射，增強(qiáng)影像界限，減少雜光影響，降低人為和產(chǎn)品帶來(lái)的不確定性。

量測(cè)軟件： 美國(guó)Rational Vuegao精度影像測(cè)量軟件

工作機(jī)臺(tái)：gao精度花崗巖平臺(tái)

機(jī)臺(tái)承重：30kg

整機(jī)重量：280 kg

整機(jī)尺寸：1350 mm×800 mm×1700 mm

電源：AC 220±5V、50Hz

使用環(huán)境：溫度 18-22℃、±1℃；濕度30%-80%；震動(dòng)15Hz以下＜0.001g。