泰思肯VEGA3 是一種熱電子發(fā)射 SEM 系統，配備鎢加熱燈絲或六硼化鑭 (LaB 6 ) 作為電子源。泰思肯VEGA3 是用于低真空和高真空操作的多功能系統，為用戶提供最新技術的優(yōu)勢，例如用于更快圖像采集的新改進的高性能電子設備，具有靜態(tài)和動態(tài)圖像像差補償的超快速掃描系統或為用戶定義的應用程序編寫腳本。

此外，通過強大的渦輪分子和旋轉真空泵，可以在幾分鐘內達到最佳操作真空。VEGA3 顯微鏡可配置為 4 種不同的腔室尺寸：SB、LM、XM 和 GM。這些腔室配有各種端口，并設計有用于EDX、WDX和EBSD分析的最佳幾何形狀。

泰思肯VEGA 系列是針對當今研究和工業(yè)中廣泛的 SEM 應用和需求而設計的。對于那些尋求可靠且功能齊全的入門級 SEM 系統并保持最佳性價比的用戶來說，VEGA3 是一個絕佳的選擇。

獨特的四透鏡Wide Field Optics?設計提供多種工作和顯示模式，采用 TESCAN 專有的中間透鏡 (IML)，用于光束孔徑優(yōu)化

專有的中間透鏡(IML) 作為“孔徑轉換器”，以電磁方式交換有效最終孔徑

實時In-Flight Beam Tracing?用于性能和光束優(yōu)化，集成了完善的軟件電子光學設計

立柱結構，沒有任何機械對中元件，可實現全自動立柱設置和對齊

高通量大面積自動化，例如自動化粒子定位和分析

使用全電動同心載物臺實現卓越的樣品處理

EDX、WDX、EBSD的理想幾何形狀；非失真 EBSD 圖案

通過強大的渦輪分子和旋轉前級真空泵快速輕松地獲得潔凈室真空

全自動顯微鏡設置，包括電子光學設置和校準

用于 SEM 控制、圖像采集、存檔、處理和分析的復雜軟件；以多種語言本地化的多用戶環(huán)境

網絡操作和內置的遠程訪問/診斷，都符合 TESCAN 標準

利用3D Beam 技術的獨特實時立體成像