鵬城半導(dǎo)體 熱絲CVD金剛石制備設(shè)備 PC-005
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鵬城半導(dǎo)體-熱絲CVD金剛石制備設(shè)備-PC-005

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品牌 鵬城半導(dǎo)體
型號 PC-005
應(yīng)用領(lǐng)域 其它
產(chǎn)地類別 國產(chǎn)
沉積速率 詳見產(chǎn)品簡介
操作方式 詳見產(chǎn)品簡介
極限真空 詳見產(chǎn)品簡介
工作環(huán)境溫度 詳見產(chǎn)品簡介
工作環(huán)境濕度 詳見產(chǎn)品簡介
商品介紹

熱絲CVD金剛石設(shè)備

產(chǎn)品簡介

研發(fā)設(shè)計制造了熱絲CVD金剛石設(shè)備,分為實驗型設(shè)備和生產(chǎn)型設(shè)備兩類。

設(shè)備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜、導(dǎo)電金剛石薄膜、硬質(zhì)合金基金剛石涂層刀具、陶瓷軸承內(nèi)孔鍍金剛石薄膜等。例如可用于生產(chǎn)制造環(huán)保領(lǐng)域污水處理用的耐腐蝕金剛石導(dǎo)電電極。

可用于平面工件的金剛石薄膜制備,也可用于刀具表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質(zhì)涂層制備。

 

工件尺寸

圓形平面工作的尺寸:最大φ650mm。

矩形工作尺寸的寬度1000mm/長度可根據(jù)鍍膜室的長度確定(如:工件長度1500mm)。

配置水樣品臺。


熱絲電源功率

可達300KW,1KW ~300KW可調(diào)(可根據(jù)用戶工藝需求配置功率范圍)


設(shè)備安全性

-電力系統(tǒng)的檢測與保護

-設(shè)置真空檢測與報警保護功能

-冷卻循環(huán)水系統(tǒng)壓力檢測和流量檢測與報警保護

-設(shè)置水壓檢測與報警保護裝置

-設(shè)置水流檢測報警裝置


設(shè)備構(gòu)成

真空室構(gòu)成

雙層水冷結(jié)構(gòu),立式圓形、立式D形、立式矩形、臥式矩形,前后開門,真空尺寸,根據(jù)工件尺寸和數(shù)量確定。


熱絲

熱絲材料:鉭絲、或鎢絲

熱絲溫度:1800℃~ 2500℃ 可調(diào)

熱絲不塌腰(解決了熱絲長時間加熱塌腰的問題)


樣品臺

可水冷、可加偏壓、可旋轉(zhuǎn)、可升降 ,由調(diào)速電機控制,可實現(xiàn)自動升降,(熱絲與襯底間距在5 ~ 100mm范圍內(nèi)可調(diào)),要求升降平穩(wěn),上下波動不大于0.1mm。


工作氣路(CVD)

工作氣路根據(jù)用戶工藝要求配置:

下面氣體配置是某一用戶的配置案例。

H2(5000sccm,濃度100%)

CH4(200sccm,濃度100%)

B2H6(50sccm,H2濃度99%)

Ar(1000sccm,濃度100%)

真空獲得及測量系統(tǒng)

控制系統(tǒng)及軟件


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公司名稱 鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司
聯(lián)系賣家 戴小姐 (QQ:84128519)
手機 萦萫萪萫萬萭营萨萨萦萭
網(wǎng)址 http://www.hitsemi.com
地址 廣東省深圳市
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