動態(tài)配氣儀的概念

動態(tài)配氣儀是利用連續(xù)稀釋法將已知濃度的原料氣，以較小的流量，恒定不變地送入氣體混氣模塊中，再通過混氣模塊，同時將凈化過的背景氣體（通常使用高純N2或Air）以較大的流量恒定不變地與原料氣混合稀釋。利用單片機控制高速三通電磁閥，通過對兩路氣體通斷進行選擇，從而達到調(diào)節(jié)每一路氣體的采樣量，獲得設(shè)定濃度的氣體，從而實現(xiàn)氣體配比。稀釋后的混合氣連續(xù)不斷地從混氣模塊流出供使用的配氣設(shè)備。

準(zhǔn)確計量原料氣流和背景氣流之比可得稀釋倍數(shù)?；旌蠚獾臐舛瓤珊唵蔚貜南♂尡稊?shù)計算出來，調(diào)節(jié)氣流比可以得到所需濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體。

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