氦質(zhì)譜檢漏方法比較多,根據(jù)被檢件的測量目的可以分為兩種類型,一種是漏點型,另一種是漏率型;在實際檢驗過程中要根據(jù)檢驗的目的選用較合理的方法,要以被檢器件的具體情況而定,靈活運用各種檢漏方法。

1、測定漏點型氦質(zhì)譜檢漏方法

確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。

1.1、噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法

這是常用的一種方法,一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等) 用噴槍噴氦,如圖4 所示,如果被檢器件某處有漏孔,當(dāng)氦噴到漏孔上時,氦氣立即會被吸入到真空系統(tǒng),從而擴散到質(zhì)譜室中,氦質(zhì)譜檢漏儀的輸出就會立即有響應(yīng),使用這種方法應(yīng)注意:氦氣是較輕的惰性氣體,在噴出后會自動上升,為了準(zhǔn)確的在漏孔位置噴氦,噴氦時應(yīng)自上而下,由近至遠(相對檢漏儀位置) ,這是因為在噴下方時氦氣有可能被上方漏孔吸入,就很難確定漏孔的位置;再者漏孔離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時間也不同,所以噴氦應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開始由近至遠來進行。

1.2、吸氦法氦質(zhì)譜檢漏方法

吸氦法主要用于檢查某些大型密封容器。如彈頭、氣罐、油罐等,先將容器抽真空,再給容器充入氦氣(為了節(jié)省用氦量,可以用低濃度氦氣) ,在氦質(zhì)譜檢漏儀的進氣法蘭處接上橡皮管,橡皮管的前端有直徑很小的毛細管,使毛細管在充了氦的被檢容器外壁的焊縫和密封接頭等處移動,如果該容器有漏隙,經(jīng)漏隙滲出的氦會被毛細管吸入,檢漏儀就會